경기 용인시 클린룸 유리 관리 작업일지, 무진 환경을 유지하는 유리 세척의 정밀 기준

경기 용인시 현장은 반도체 부품 협력업체가 운영하는 Class 1000 등급 클린룸 시설이었습니다. 외부 복도에서 내부 공정을 관찰할 수 있는 이중 유리 관찰창 8면과, 클린룸 내부 구역을 구분하는 파티션 유리 6면이 세척 대상이었습니다. 시설 담당자는 유리 세척 과정에서 발생하는 파티클이 클린룸 등급에 영향을 주지 않아야 한다는 점을 가장 강조했습니다.

관찰창 외부 면에는 복도 측 미세먼지와 작업자 손자국이 축적되어 있었고, 내부 면에는 공정 중 발생한 미세 화학 증기가 유리 표면에 얇은 유막을 형성하고 있었습니다. 파티션 유리는 무진복 소매가 스치면서 생긴 정전기성 미세 섬유 부착이 주된 오염 원인이었습니다.

클린룸 내부에서 사용하는 모든 장비는 파티클 발생이 최소화된 클린룸 전용 제품이어야 합니다. 일반 마이크로파이버 천 대신 클린룸 등급 와이퍼를 사용했고, 세정제도 반도체 공정에서 허용되는 IPA(이소프로필알코올) 기반 클린룸 전용 클리너를 적용했습니다. 모든 장비는 반입 전 에어샤워를 통과시켰습니다.

외부 복도 측 작업은 일반 유리 세척과 유사하게 진행할 수 있었지만, 세정제 미스트가 클린룸 입구 에어록 쪽으로 유입되지 않도록 작업 구간을 차단막으로 분리했습니다. 스퀴지와 패드도 클린룸 반입용과 외부 전용을 완전히 분리해 교차 오염을 방지했습니다.

외부 복도 측 관찰창은 중성 세정제를 천에 적셔 도포한 뒤 소프트 스퀴지로 마감하는 방식으로 처리했습니다. 손자국이 밀집된 관찰 높이 구간은 알코올 클리너를 추가 적용해 유분기를 완전히 제거했고, 프레임 접합부 잔수는 클린룸 등급 건식 와이퍼로 흡수시켰습니다.

클린룸 내부 파티션 작업은 무진복, 무진 장갑, 마스크를 완전히 착용한 상태에서 진행했습니다. IPA 클리너를 와이퍼에 적셔 유막을 제거하고, 새 와이퍼로 교체해 건식 마감을 반복했습니다. 정전기성 섬유가 부착된 구간은 정전기 제거 건으로 먼저 처리한 뒤 세척해야 섬유가 다시 달라붙지 않았습니다.

전체 세척 완료 후 파티클 카운터로 클린룸 내부 공기 질을 측정한 결과 Class 1000 기준을 충족하고 있음을 확인했습니다. 관찰창 투명도가 회복되면서 외부 복도에서 내부 공정 상태를 선명하게 모니터링할 수 있게 되었고, 파티션 유리의 정전기성 오염이 제거되어 구역 구분이 깔끔해졌습니다.

시설 담당자는 클린룸 유리 세척을 외부 업체에 맡긴 것이 처음이었는데, 무진 프로토콜을 완벽하게 준수한 점에 높은 신뢰를 보여주셨습니다. 분기 1회 정기 세척과 공정 라인 변경 시 추가 세척을 포함한 연간 관리 계약을 협의하고 현장을 마무리했습니다.